Die Partikelkonzentrationen in der Luft, am Arbeitsplatz und in den Prozessmedien von Reinräumen müssen regelmäßig gemessen werden. Um die konstante Reinheit des Raums zu gewährleisten, hat die VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik (GBG) die neue Richtlinie VDI 2083 Blatt 3 „Reinraumtechnik – Messtechnik“ als Entwurf veröffentlicht. Sie beschreibt Messverfahren für Reinräume und zugehörige Bereiche, die bei der Übergabe, im Rahmen der Qualifizierung von Neuanlagen, der Routinekontrolle und der laufenden Überwachung eingesetzt werden. Die spezifizierten Methoden sind nach DIN EN 12599, VDI 2083 Blatt 2 und DIN EN ISO 14644-4 vorgesehen und gelten für Partikel mit einer Größe ab 100 nm.
VDI 2083 Blatt 3 beinhaltet Hinweise zum Ablauf der Messungen, informiert über Art und Umfang der Dokumentation und definiert Mindestanforderungen an das zu erstellende Messprotokoll. Die Reihe bietet außerdem die nötigen Daten für die Auswahl von Methoden und Parametern und gibt einen Überblick über Abweichungen, die zulässig oder notwendig sein können.
Onlinebestellungen sind unter www.vdi.de/2083 möglich.
